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目前，全球半导体产业主要由集成电路、光电器件、分立器件、传感器产业组成，而集成电路又占据着半导体器件80%以上的市场份额，所以人们经常把半导体和集成电路等价，然而半导体原材料广泛，大致上可分为金属导体和以硅为主的半导体，它们在集成电路工艺上有什么作用？我们来看看吧！
1、金属导体在集成电路工艺中的作用
一般来说应用在集成电路工艺中的金属导体主要以铝（Al）、金（Au）和铜（Cu）等为主。
①构成低值电阻
②构成电容元件的极板
③构成电感元件的绕线
④构成传输线的导体结构
⑤与轻渗杂半导体构成肖特基接触
⑥与重渗杂半导体构成电极的欧姆接触
⑦构成元器件之间的互连
⑧构成与外界焊接用的焊盘
2、以硅为主的半导体在集成电路工艺中的作用
一般来说应用在集成电路工艺中的金属导体主要以SiO、SiON和SI3N4等为主。
①构成电容的介质
②构成MOS器件的栅绝缘层
③构成元件和互连线之间的横向隔离
④构成工艺层面之间的垂直向隔离
⑤构成防止表面机械损伤和化学污染的钝化层
金属导体和半导体在集成电路工艺中的作用
2022-06-14 17:40
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