集成电路制作工艺通常包括以下六大步骤:
排版(Layout):设计芯片的布局,确定各个功能模块的位置和连接方式。
掩膜制作(Mask Fabrication):使用蚀刻光刻工艺在硅片上制作掩膜,形成电路的图案。
沉积和蚀刻(Deposition and Etching):在硅片表面沉积材料,然后使用蚀刻工艺去除多余材料,形成电路结构。
离子注入(Ion Implantation):通过离子注入工艺向硅片中掺杂杂质,改变硅片的电学性质。
金属化(Metallization):在硅片上沉积金属,用于连接芯片上的不同功能模块。
封装(Packaging):将制作好的芯片封装在封装体中,用于连接外部电路和提供保护。
以上六个步骤是集成电路制作工艺中常见的步骤,不同类型的集成电路可能会有所差异。
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