在半导体制造中,硅片是芯片制造的基础材料,其规格和特性对最终产品的性能至关重要,但如果了解硅片的设计,很容易发现2、4、6寸硅片经常留有旁边(Flat)设计,这是为什么?
1、平边(Flat)是什么?
平边,也叫做定位边,是硅片上被刻意切割出一个或多个缺觉,这些平边在硅片被切割成单片之前,就已经在硅锭上通过金刚锯切割而成,平边的作用如下:
·定位与对准:在制造过程中,平边可帮助设备精确定位和对准硅片,确保后续加工步骤的准确性和一致性;
·晶向识别:平边的位置和数量与硅片的晶向密切相关,通过观察平边配置,可迅速判断硅片的晶向类型,如<111>、<110>或<100>。
2、平边与晶向的关系是什么?
硅片的晶向对其物理和化学性质具有重要影响,常见的晶向包括<111>、<110>和<100>,而平边的配置与晶向之间存在特定的对应关系:
当主定位边与次定位边夹角为45°时,硅片类型为n型<111>。
当主定位边与次定位边夹角为90°时,硅片类型为p型<100>。
当主定位边与次定位边夹角为180°时,硅片类型为n型<100>。
注:对于<110>晶向,由于其不是主流的硅片晶向,因此没有一个统一的标准来表示。硅片供应商可以根据自己的标准来设定<110>晶向的平边配置。
3、为什么要在2、4、6寸硅片添加平边?
·提高加工效率:通过平边可进行定位和对准,显著提高设备的加工效率,降低废品率;
·保证产品质量:精确的晶向识别有助于确保芯片物理和化学符合设计要求,从而提高产品质量;
·便于追溯与管理:平边的配置可以作为硅片的身份标识,方便制造商对硅片进行追溯和管理。
本文凡亿企业培训原创文章,转载请注明来源!