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DPC(磁控溅射)陶瓷基板的铜面处理及其对性能的影响

2023-06-25 14:52
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DPC(磁控溅射)陶瓷基板是一种重要的电子材料,主要应用于微电子器件、集成电路、LED等领域。铜面处理是提高DPC(磁控溅射)陶瓷基板性能的重要手段。本文将从铜面处理方法和处理后的性能影响两个方面探讨DPC(磁控溅射)陶瓷基板的铜面处理及其对性能的影响。

 

一、DPC(磁控溅射)陶瓷基板的铜面处理方法

 

1)机械处理

 

机械处理是最常见的铜面处理方法之一,其主要包括打磨、抛光、切割等。机械处理可以去除铜面的毛刺、凹凸不平等缺陷,提高铜面平整度和光洁度,从而提高DPC(磁控溅射)陶瓷基板的性能。

 

2)化学处理

 

化学处理是通过化学方法处理DPC(磁控溅射)陶瓷基板铜面,主要包括酸洗、碱洗、氧化等处理方法。化学处理可以去除铜面的杂质和氧化层,提高铜面的化学纯度和活性,从而提高DPC(磁控溅射)陶瓷基板的抗腐蚀性和界面附着力。

 

3)等离子体处理

 

等离子体处理是一种非接触式的铜面处理方法,可以在低温下进行,不会产生热应力等问题。等离子体处理可以提高铜面的活性和亲水性,从而提高DPC(磁控溅射)陶瓷基板的润湿性和胶黏性,有利于铜面涂覆和界面附着。

image.png 

 

二、铜面处理对DPC(磁控溅射)陶瓷基板性能的影响

 

1)机械处理

 

机械处理可以提高DPC(磁控溅射)陶瓷基板的铜面平整度和光洁度,从而提高其电绝缘性能和光学透明性能。同时,机械处理还可以增加DPC(磁控溅射)陶瓷基板的机械强度和耐磨性能,从而提高其抗冲击能力。

 

2)化学处理

 

化学处理可以提高DPC(磁控溅射)陶瓷基板的铜面化学纯度和活性,从而提高其抗腐蚀能力和界面附着力。例如,氧化处理可以在DPC(磁控溅射)陶瓷基板铜面形成一层氧化层,使铜面更加平整和致密,从而提高其电学性能和机械强度。

 

3)等离子体处理

 

等离子体处理可以提高DPC(磁控溅射)陶瓷基板铜面的活性和亲水性,从而增加其润湿性和胶黏性。例如,等离子体处理可以在DPC(磁控溅射)陶瓷基板铜面引入一定量的官能团,使其与涂料或粘合剂之间的化学结合更加牢固,从而提高界面附着力。

image.png 

综上所述,DPC(磁控溅射)陶瓷基板的铜面处理是提高其能能的重要手段。不同的铜面处理方法可以产生不同的效果,对于不同的应用需求需要选择合适的铜面处理方法。通过铜面处理,可以提高DPC(磁控溅射)陶瓷基板的铜面平整度、化学纯度、机械性能和界面附着力等性能,从而推动DPC(磁控溅射)陶瓷基板技术的进一步发展。


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