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离子注入工艺参数 00离子注入就像上图一样,把离子砸到晶圆中。涉及到使用的力度、数量、角度,砸进去的深度等。 或许大家看注入机设备规格的时候,会注意到在讨论能量范围的时候,KeV注明是单电荷。 我们知道扩散源以原子的形态被打入等离子发生室内,其核外电子被电离游走掉,有的原子被电离掉一个电

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离子注入工艺的设计与计算

TCAD相信很多人都用过,很多人说做工艺指导还行,信它就可能把片子玩飞了。TCAD在工艺仿真上有它一定的局限性,毕竟工艺过程总环境、物料、人的影响很大。作为器件仿真还是值得学习一下。 TCAD就是Technology Computer Aided Design,指半导体工艺模拟以及器件模拟

TCAD基础知识介绍

1 •外延的命令epitaxy,参数及其说明如下:1.1外延的例子1.3光刻仿真•OPTOLITH模块可对成像(imaging),光刻胶曝光(exposure),光刻胶烘烤(bake)和光刻胶显影(development)等工艺进行精确定义••OPTOLITH提供光阻的库及其光学性质和显影时的特性(

Silvaco TCAD工艺仿真外延、抛光和光刻

若是评选晶圆代工最强厂商,第一毫无疑问是台积电,凭借着优势抢走了三星大客户,因此三星为争夺订单及挽回客户,做出了种种努力。据外媒报道,三星正在研发智能传感器系统,用于控制和管理半导体工艺,而且这个系统的问世,有望提高三星半导体良品率及生产率

三星研发智能传感器系统,有望提高生产率

提起摩尔定律,很多人都不会陌生,英特尔创始人戈登·摩尔提出:“集成电路上可以容纳的晶体管数量,每经过18-24个月便会翻一番。”但随着芯片制程的提升,摩尔定律即将达到物理极限。据外媒报道,随着新工艺节点的不断推出,芯片制程工艺也正在向着物理

英特尔:我们不再处于摩尔定律的黄金时代

温度测量应用非常广泛,不仅生产工艺需要温度控制,有些电子产品还需对它们自身的温度进行测量,如计算机要监控CPU的温度,马达控制器要知道功率驱动IC的温度等等,下面介绍几种常用的温度传感器。 温度是实际应用中经常需要测试的参数,从钢铁制造到半导体生产,很多工艺都要依靠温度来实现,温度传感器是应用系统与

温度传感器的应用及原理

随着芯片制造工艺的不断进步,单个芯片的晶体管数量持续增长,从数万级别到今天的数百亿级别,虽然后面会迎来万亿级芯片时代。长期以来,提高晶体管密度抑制是实现大规模集成电路的主要途径,厂商及工程师的关注点也是以芯片制程的升级为主。但随着工艺邻近物

回首芯片封装,你还记得那些经典产品吗?

MEMS是Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统)的缩写,具有微小的立体结构(三维结构),是处理各种输入、输出信号的系统的统称。是利用微细加工技术,将机械零零件、电子电路、传感器、执行机构集成在一块电路板上的高附加值元件。MEMS工艺MEMS工艺以成膜工序、光刻

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【科普】何谓MEMS?

湿法腐蚀在半导体工艺里面占有很重要的一块。不懂化学的芯片工程师是做不好芯片工艺的。正常一些的腐蚀Sio2等氧化层工艺,也有许多腐蚀铜、Al、Cr、Ni等金属层工艺。有时还需要做一些晶圆的返工程序,如何配置王水、碘化物溶液等。相对于真空设备,成形稳定的工艺参数来讲,化学间才是考验芯片工程师的主要场地。

湿法化学腐蚀

虽然市场上仅有苹果的A17 Pro芯片用上了台积电的3nm工艺,但台积电的雄心远不止于此,不仅在明年全面铺开N3E工艺,还要筹备更高的制程工艺,如2nm,甚至1nm。据外媒tomshardware报道,台积电近日在IEDM大会上发布了最新的

台积电:1nm芯片内置2000亿晶体管!