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微纳电容测量挑战：如何精准测量fF级超低电容？

简介典型的半导体电容在pF或nF范围内。许多商业上可用的LCR表或电容计补偿后可以使用适当的测量技术来测量这些值，然而，一些应用需要在飞秒法（fF）或1e-15范围内进行非常灵敏的电容测量。这些应用包括测量金属到金属的电容，晶片上的互连电容，MEMS器件，如：开关，纳米器件端子之间的电容。如果没有使

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微纳电容电容测量

微纳电容测量挑战：如何精准测量fF级超低电容？