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数字镜阵列 (DMD) 或微机电系统 (MEMS) 由一组小型矩形反射镜组成。每个镜子可以有不同的倾斜度。这些设备可用于许多应用，包括光谱学（镜子可以在不同位置发送不同波长的光）和DLP投影技术-将图像从监视器投影到大屏幕上。OpticSt
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【科普】何谓MEMS？
MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。是利用微细加工技术，将机械零零件、电子电路、传感器、执行机构集成在一块电路板上的高附加值元件。MEMS工艺MEMS工艺以成膜工序、光刻
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随着无线通信技术的飞速发展，射频微机电系统（RF MEMS）作为连接微电子与微机械领域的桥梁，正逐步成为提升无线通信设备性能、实现小型化、集成化及多功能化的关键技术，本文将给予当前射频封装技术的现状，分析探讨RF MEMS的前沿研究方向及前
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微机电（MEMS）系统可以说是21世纪最具潜力前景可观的技术之一，要想实现微型化、集成化、智能化，就不得不评论MEMS系统的加工技术。因此本文将直接列出MEMS加工的核心技术，谈谈如何在微观世界中精准塑造器件。1、传统机械加工微型化超精密机
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