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光刻胶的成分和光刻原理

最近有人问我光刻胶曝光的原理和正负光刻胶的主要组分是什么，我也只是知道是这么一回事，但是里面包含许多专有名词还是挺拗口的，反正我是不想去记它。今天刚好找了一下以前的笔记，大家可以复习一下，写材料的时候也能从copy一下。首先，是光刻的工序光刻胶分两种，一种正光刻胶、一种负光刻胶，出来的

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光刻胶光刻原理

光刻胶的成分和光刻原理