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近日,中科院物理研究所科研人员通过优化生长工艺,改善晶体结晶质量,成功制备单一4H晶型的8英寸碳化硅(SiC)晶体,并加工出厚度约2mm的8英寸SiC晶片,实现了国产大尺寸碳化硅单晶衬底的突破。据了解,碳化硅(SiC)作为第三代半导体材料,
GaN芯片工艺
GaN作为第三代半导体的典范正在被广泛使用,就连电梯间也能看到快充品牌直接拿GaN做广告语了。GaN做激光或者LED可以发出蓝光,也是被广泛研究和量产的产品。GaN器件目前被称为HEMT (High Electron Mobility Transistors),这种高电子迁移率的晶体管用
第三代半导体材料是指以氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)等为代表的宽禁带半导体材料。具体是指Eg(带隙宽度)≥2.3eV的宽禁带半导体材料,主要包括碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)。与前两代半导体材料相比,第三代半导体材料具有更宽的禁带宽
随着时代发展,目前已经发展之第三代半导体材料,第一代至第三代类型如下:第一代半导体材料以传统的硅(Si)和锗(Ge)为代表,是集成电路制造的基础,广泛应用于低压、低频、低功率的晶体管和探测器中,90%以上的半导体产品 是用硅基材料制作的;第