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仿真语法:通用格式语法规则:•命令可以简写,以不与其他简写相冲突为原则,如“deposit”可以用“depo”取代•不区分大小写•命令和参数之间、参数和参数之间以空格分开•一行写不完的在该行的末尾加反斜杠“\”(注意“\”前需留有空格),则下一行和该行将被视为同一个命令•“#”进行注释•空行不运行激

Silvaco TCAD仿真流程和激光芯片仿真