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激光退火
随着超大规模集成电路制造技术、新型薄膜晶体管显示技术和大面积OLED显示技术的日益成熟和规模化,激光退火技术逐渐取代传统的炉管退火、快速热退火、尖峰退火、快闪退火,成为新一代主流退火技术。 自从1975年前苏联科学家Gerasi-menko开始研究激光退火以来,此后若干年里,研究者对激光退火机
薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)是一种用于电子设备中驱动液晶显示屏的晶体管技术。它是一种薄膜电晶体管,与传统的晶体管相比,具有更小的体积、更低的功耗和更高的开关频率。薄膜晶体管广泛应用于平板电视、电脑显示器、手